實驗室凈化工程的三種方式比較
發布時間：2020-4-16 18:31:49 閱讀：777 次
實驗室凈化工程的原理和作用:控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施過程即可稱為實驗室凈化工程。實驗室凈化工程有多種形式，每種凈化方式有有其各自的優缺點，和大家詳細介紹。
一、凈化工程亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈工程室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔室等級1,000-100,000級。
優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
二、凈化層流式
層流式空氣氣流運動成-均均之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并鎬架地板或兩側隔墻板回風。此型式適于潔凈室等級需定較高的環境使用,一般其潔凈室等級為Class1-100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外, -般在下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
三、復合式
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI 制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優點: A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)潔凈管道(CleanTube) :將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。產品和作業員及發塵環境相互隔離,量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot) :將潔凈室等級10,000-100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10-1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈I程工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，
采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10-1000級,度在2.5米粒右,覆蓋面積約10平方米以下,四吱支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
